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渦旋真空泵

nXDS 6i

nXDS 10i

nXDS 15i

nXDS 20i

Edwards nXDS 渦旋泵在傳統 XDS渦旋泵的基礎上進行改進,提高了抽速,降低了極限壓力、功耗和噪音。氣鎮允許泵送冷凝性蒸汽,包括水、溶劑、稀酸和堿。nXDS 渦旋泵還采用了最新的端部密封技術,顯著延長了端部密封更換的時間間隔。具有自動電壓輸入感知功能的集成變頻器驅動提供整體優化的泵送性能,nXDS 渦旋泵可完全進行現場維修。

特點

真空外殼中不需要使用潤滑劑,完全密封可保證徹底的清潔和干燥真空,防止交叉污染

無大氣壓到真空的軸封可使軸承完全隔離,從而阻止制程攻擊,軸承也能以更低溫度運行,使用時間更長

簡單的單側滾軸布置與創新的電機和軸承設計相結合,只需最低程度的特殊工具,就能實現輕松的現場服務,因此可降低運行成本,盡可能延長正常運行時間

改進了電機和傳動效率,可降低功耗和運行成本

先進的接口提供了各種傳統、模擬和數字控制方法,可通過 USB、RS232 或 RS485 實現遠程控制/監視

應用

一般清潔泵送應用

電子掃描顯微鏡 - SEM

射束線和高能物理

前級渦輪泵

超高速離心機

覆層

低溫學

脫氣/硫化 - 油,環氧樹脂

蒸餾/萃取/過濾

冷凍干燥

熔爐

凝膠體干燥

實驗室工作臺上真空

激光、氣體回收和再循環

氦檢漏儀

負載鎖和傳輸腔

稀有氣體再循環

稀有氣體回收

冷凍制造

研發

旋轉離心蒸發器

SEM/FIB(離子束維修)

溶劑回收

表面科學儀器

技術規格

型號

nXDS 6i

nXDS 10i

nXDS 15i

nXDS 20i

抽速

6.2m3/h

11.4m3/h

15.1m3/h

22m3/h

極限真空

2Pa

0.7Pa

0.7Pa

3Pa

水蒸氣能力

110g/h

145g/h

280g/h

220g/h

電源

100-127Vac,200-240Vac(±10%),50/60Hz

功率

260W

280W

300W

260W

重量

26.2Kg

25.8Kg

25.2Kg

26.6Kg

進氣口

NW25

出氣口

NW25

噪音

52dB

泄漏率

<1X10-6mbar.L/s

工作溫度

10℃至+40℃

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