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數字式質量流量控制器-橡膠密封

VIC-D200系列數字式MFC,產品同時支持傳統模擬量和RS485數字信號,滿足大部分氣體控制的通用需求,氣體通路為不銹鋼材質,適用于所有氣體或高壓環境。

特點

全測量區間內響應速度≤1秒

Teflon密封,對有毒及腐蝕性氣體耐久性強

沒有DISK變形,半永久使用保障

適用浪涌和過電壓的內部電路設計

維持準確度,溫度變化不敏感

技術規格

型號VIC-D210VIC-D220
VIC-D230
VIC-D240
VIC-D245
流量范圍(N2基準)5sccm ~ 1.5slm1.5slm~50slm50slm~100slm
100slm~200slm
200slm~400slm
流量控制范圍
2 ~ 100%滿量程
精度≤1%滿量程
響應速度≤1秒(10~100%滿量程)≤1.2秒
重復性
≤0.2%滿量程
閥門類型常閉閥
密封種類Vtion,Vtion-ETP,Kalrez等等
電氣連接及信號9針D-Sub公頭
模擬:0-5VDC或4-20mA
數字:RS485
電源+15VDC~+24VDC
操作溫度操作溫度:5-50℃(推薦15~35℃)
預熱時間15分鐘(準確度保證:30分鐘)
法蘭連接1/8"~1/2"LOK或VCR(根據型號)
重量0.95Kg0.97Kg1.33Kg1.87Kg3.3Kg

產品尺寸


流量壓力事項


質量流量控制器訂購參數確認單

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