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    數字式質量流量控制器-橡膠密封

    VIC-D200系列數字式MFC,產品同時支持傳統模擬量和RS485數字信號,滿足大部分氣體控制的通用需求,氣體通路為不銹鋼材質,適用于所有氣體或高壓環境。

    特點

    全測量區間內響應速度≤1秒

    Teflon密封,對有毒及腐蝕性氣體耐久性強

    沒有DISK變形,半永久使用保障

    適用浪涌和過電壓的內部電路設計

    維持準確度,溫度變化不敏感

    技術規格

    型號VIC-D210VIC-D220
    VIC-D230
    VIC-D240
    VIC-D245
    流量范圍(N2基準)5sccm ~ 1.5slm1.5slm~50slm50slm~100slm
    100slm~200slm
    200slm~400slm
    流量控制范圍
    2 ~ 100%滿量程
    精度≤1%滿量程
    響應速度≤1秒(10~100%滿量程)≤1.2秒
    重復性
    ≤0.2%滿量程
    閥門類型常閉閥
    密封種類Vtion,Vtion-ETP,Kalrez等等
    電氣連接及信號9針D-Sub公頭
    模擬:0-5VDC或4-20mA
    數字:RS485
    電源+15VDC~+24VDC
    操作溫度操作溫度:5-50℃(推薦15~35℃)
    預熱時間15分鐘(準確度保證:30分鐘)
    法蘭連接1/8"~1/2"LOK或VCR(根據型號)
    重量0.95Kg0.97Kg1.33Kg1.87Kg3.3Kg

    產品尺寸


    流量壓力事項


    質量流量控制器訂購參數確認單

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