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渦輪分子泵

Osaka渦輪分子泵使用了脂潤滑陶瓷軸承,實現了小型、輕量、低成本。 耐外部震動,耐沖擊能力強,可以把分子泵搭載到可搬式設備或設備的可動部,拓展了渦輪分子泵的新應用。提供排氣速度50L/s ~ 2400L/s的產品。

特點

無油的超真空環境

機械式的氣體分子排氣(動態排氣),對所有的氣體的排氣速度大致相同

可排稀有氣體和腐蝕性氣體

可連續排大流量氣體

可工作的壓力范圍寬。(~10-10Pa)

應用

半導體制造

電子槍排氣,離子源排氣

FPD制造

表面處理,表面改質

各種電子部件的制造

分析,試驗裝置

管球制造,光學部件制造

加速器,放射線設施,核聚變研究

熱處理

研究開發

技術規格

型號

TG50F

TG60F

TG70F

TG220F

TG240F

TG350F

TG450F

TG800F

TG1100F

TG1400F

TG2400

法蘭

吸氣口ISO-R/CF

63

KF40/63

63

100

100

100

160

160

200

200

250

排氣口

KF16

KF16

KF16

KF25

KF25

KF25

KF25

KF40

KF40

KF40

KF40

排氣速度

N2(附加金屬過濾網)

49L/s

55L/s

65L/s

210L/s

240L/s

310L/s

430L/s

750L/s

1000L/s

1300L/s

2300L/s

H2

12L/s

22L/s

40L/s

100L/s

160L/s

210L/s

240L/s

650L/s

720L/s

750L/s

1100L/s

最大壓縮比

N2

1.4×107

2×107

1×108

1×108

1×108

1×108

1×108

1×108

1×108

1×108

1×108

H2

5×102

2×103

1×105

4×102

4×104

2×103

2×103

1×104

1×104

4.3×103

1.4×103

極限壓力

ISO-R/CF

<3×10-6Pa

<5×10-6Pa/<1×10-6Pa

<5×10-7Pa/<1×10-7Pa

<1×10-6Pa

<1×10-6Pa/<5×10-7Pa

<1×10-6Pa

<1×10-6Pa

<1×10-6Pa

<1×10-6Pa

<1×10-6Pa

<1×10-6Pa

最大氣體流量

N2(sccm)

80

20

20

400

70

500

500

330/860

330/860

450

900/1500

推薦輔助泵

≥50L/min

≥25L/min

≥25L/min

≥80L/min

≥80L/min

≥80L/min

≥80L/min

≥250L/min

≥250L/min

≥250L/min

≥500L/min

容許輔助壓力

1330Pa

800Pa

1200Pa

260Pa

700Pa

260Pa

260Pa

330Pa

330Pa

330Pa

200Pa

重量Kg

ISO-R/CF

4.2/6

3.4/5.4

3/5

5.5/8

7.3/10.5

6/9

7/10

27/26

28/27

29/30

45/47

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