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    分子泵組(真空排氣臺)

    真空泵組是通過組合各種泵來實現真空環境的系統。

    真空廣泛用于先端科學技術到一般產業的領域。 根據用途所需的真空條件也是不同的。 考慮對環境的影響,可凝性氣體、腐蝕性氣體的處理是應該解決的重要問題。

    特點

    根據應用情況,選擇分子泵或前級泵

    緊湊型安裝

    移動式機臺

    選配真空計,實時壓力監測

    應用

    研發試驗

    真空爐排氣

    一般抽真空應用

    技術規格(常用)


    型號

    ST060FR060桌面式真空排氣臺

    接口形式

    吸氣口

    KF40

    進氣口

    G 1/2”

    排氣速度

    N2

    60L/s

    N2帶保護濾網時

    55L/s

    極限真空度

    5×10-6Pa以下

    真空泵

    復合分子泵

    TG60FRAB /OsakaVacuum


    軸承型式

    陶瓷軸承、脂潤滑


    冷卻方式

    強制空冷


    轉速

    69000rpm


    啟動時間

    1.5~2min


    停止時間

    15~25min


    壓縮比N2

    2×107


    壓縮比H2

    3×103


    最高容許背壓

    800Pa


    軸承壽命

    20000hour


    分子泵控制器

    TC75


    輔助泵

    VRD4


    輔助泵形式

    雙級選片式真空泵


    輔助泵排氣速度

    66L/min

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