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    SRS殘余氣體分析儀

    RGA100、200、300amu殘余氣體分析儀擁有很好的性能,能對真空系統進行詳細的氣體分析,相對同類型品牌產品有極高的性價比。每一臺RGS系統都配有一套四極質譜儀、電子控制單元(RCU)和一個用于數據采集和分析、以及探針控制的實時Windows軟件包。

    特點

    100、200、300amu質量數可選

    <1amu 分辨率

    檢測極限5 × 10E?14 Torr

    RGA Windows & LabVIEW軟件包

    現在可更換電子倍增器和燈絲

    RS232和以太網遠程接口

    封閉式離子源氣體分析儀

    憑借優于1ppm的檢測極限,mTorr壓力下的直接采樣,以及用戶方便操作的Windows軟件包,CIS系統將滿足嚴苛的制程。如:在線過程監控、使用點工藝氣體純度驗證、高真空殘余氣體分析和工藝設備泄露檢測等領域。

    特點

    100、200、300amu質量數可選

    1ppm 檢測極限

    操作壓力可達10mTorr

    檢測極限1 × 10E?12 Torr

    RGA Windows & LabVIEW軟件包

    現在可更換電子倍增器和燈絲

    RGA和真空系統封閉式

    制程監控系統

    PPR過程監控系統設計用于在線過程監控和診斷。殘余氣體分析儀(RGA)有兩條通路:一條用于監測基本真空的高導電通路和一條用于監測工作壓力下工藝的減壓通路。減壓通道擁有一個小孔,其設計用于以下壓力之一下工作:0.01、0.1、1、10Torr。它將樣品的壓力降低到RGA工作的壓力(約10E-6Torr)。這種降壓是有一個渦輪分子泵和一個隔膜泵組成的真空系統維持的,兩個泵都是無油真空泵,不會污染工藝過程。

    此系統包括一個RGA、旁通閥總成和三通、ECU控制器、渦輪分子泵、隔膜泵和用于數據采集和控制的Windows軟件程序。系統軟件可在各種模式下操作儀器,包括模擬掃描、柱狀圖分析和壓力、時間的模式。

    法拉第杯和電子倍增器都是標準的配置,電子倍增器可提供更高的靈敏度和掃描速度。PPR系統在發貨時已經完全組裝并且校準,可直接連接到真空腔室。

    RGA技術規格

    系統
    質量數
    RGA1001 至 100amu
    RGA2001 至 200amu
    RGA3001 至 300amu
    質量分析類型四級質譜
    探測器類型法拉第杯(FC),標準
    電子倍增器(EM),可選
    分辨率高于0.5 amu@10%峰值(根據AVS標準2.3)高度。可在整個質量范圍內調節至恒定的峰值寬度。
    靈敏度(A/Torr)2×10-4(FC),<200(EM)。用戶可在整個高壓范圍內調節。用N2@28 amu測量,全峰寬1 amu,高度10%,電子能70 ev,離子能12 ev,電子發射電流1 mA。
    可檢測分壓
    5 × 10E–11 Torr  (FC)
    5 × 10E–14 Torr  (EM)
    工作范圍10E–4 Torr 至 UHV (FC)
    10E–6 Torr 至 UHV (EM)
    工作溫度70℃
    烘烤溫度300℃(不帶電子部分)
    離子源
    設計開放離子源,圓柱對稱式,電子碰撞電離
    材料SS304結構
    燈絲釷銥絲,內置1至10W的電子脫氣(可現場更換)。
    電子能量25至105V,可編程
    離子能量8至12V,可編程
    聚焦電壓0至150V,可編程
    電子發射電流0至3.5mA,可編程
    一般
    探頭尺寸從法蘭面至電子器頂部,8.75英寸
    探頭插入2英寸
    探頭安裝法蘭CF35
    管道內徑
    1.375英寸
    ECU尺寸78.7mm × 104mm × 231mm ,烘烤時容易分離設計
    LED指示燈電源開/關,燈絲開/關;
    脫氣開/關,電子倍增器開/關
    RS232執行/錯誤,超壓、燈絲燒毀
    預熱時間30分鐘后質量穩定性為±0.1 amu
    計算機接口RS-232C,28,800波特,帶高級命令集
    軟件基于Windows的應用程序
    電源要求24伏直流電@2.5安培,DB9公頭連接器,可選內置電源模塊,用于交流線路操作
    重量2.72Kg

    泵送規格

    分子泵抽速70L/s,極限壓力2 × 10E-9mbar
    隔膜泵極限壓力小于1mbar,防護等級IP44
    冷卻強制風冷

    *其它詳細參數請聯系客服

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