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    薄膜沉積控制器

    SQC-310 薄膜沉積控制器憑借先進的技術、增強的顯示和實惠的價格,INFICON SQC-310 系列提供同類薄膜控制器無法企及的優勢。您可以為自己的應用選擇理想的型號:連續沉積 (SQC-310) 或共沉積 (SQC-310C)。

    特點

    明亮的彩色 LCD 顯示屏 - 提供英文或中文版本

    標準 RS-232 和 USB(可選 RS-232 和以太網)

    設有 “Quick Setup”(快速設定)菜單、6 個區分上下文按鈕以及一個簡便的參數設定旋鈕,易于設定和操作

    用于開發、測試和下載過程的 Windows程序,以及用于將儀器數據記錄到 PC 進行過程分析與質量控制的 Windows 程序

    精確的過程控制,尤其適用于低沉積速率,測量速率為每秒 10 個讀數,測量分辨率為 ±0.03 Hz

    存儲容量可達 100 個過程、1000 層薄膜、50 種薄膜材料

    使用單傳感器或多傳感器監控源材料,提供精確的源分布監控

    技術規格

    型號
    SQC310SQC310C
    QCM輸入2(可選4)4
    測量頻率范圍可調:
    1.0 MHz最低
    6.5 MHz最高
    頻率分辨率
    0.25s測量間隔
    ± 0.012Hz
    厚度和速率分辨率/測量
    工具/密度 = 100/1,基礎頻率 = 6赫茲,0.25秒測量間隔
    ±0.015 ?
    頻率穩定性± 2 ppm, 0至50℃
    測量周期0.10至1s(可調)
    速率顯示0.01 ?/sec
    控制
    存儲
    輸出信號
    數字輸入

    100 個過程、1000 層薄膜、50 種薄膜材料
    0至+10VDC
    5VDC-非隔離
    設定點繼電器8/8(16/16可選)16/16
    電氣接口RS232標準(USB、以太網口可選)
    電源電壓100-240VAC,25W
    標準CE,RoHS

    訂購資料



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