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PRA、WRA殘余氣體分析儀

Edwards  RGA包括兩種類型: PRA和WRA,都具有簡單和高效的操作性,確保高性能和效率。

Edwards PRA提供了高性能分析和遠程監控模式。PRA有四種分類可供選擇,以滿足您的過程需求,無論只是需要一個基本RGA還是更敏感/范圍更廣的RGA,PRA系列都是分析過程的基本選擇。

Edwards WRA 是RGA的頂級產品,具有市場領先的設計與專利。有兩種型號1-200或1-300 amu,可以測量工藝流程的各種氣體以及產生的副產品。與PRA相比,具有更高的靈敏度,從而使測量更精確。

所有的RGA都配備了專用的,易于使用的軟件,從筆記本電腦就可實時跟蹤工藝過程,多達16個不同單位的詳細分析。RGA本體上有一個面板顯示,可以顯示主要氣體類型和系統的整體壓力,而不必通過筆記本電腦連接或遠程通訊讀取。

特點

總壓力測量

雙燈絲

面板單元顯示

易于更換零件

除氣功能

離子源和EM多重保護

應用

PRA

高真空抽真空設備的殘余氣體分析

研發過程中的氣體分析

冷凍干燥中的氣體分析

PV/FPD/Semi氣體分析

WRA

UHV設備的殘余氣體分析

有機材料分析

環境分析

氣體雜質

技術規格

型號

PRA100

PRA100S

PRA200

PRA200S

WRA200S

WRA300S

質量數范圍

1-100amu

1-200amu

1-300amu

質譜儀類型

QMS

探測器類型

FC

FC/EM

FC

FC/EM

FC/EM

FC/EM

靈敏度A/mbar

1x10-5

400/1x10-5

1x10-5

400/1x10-5

400/2.5x10-4

最小可測分壓(mbar)

1x10-10

1x10-14/1x10-10

1x10-10

1x10-14/1x10-10

1x10-15/1x10-11

最高工作壓力(mbar)

1x10-4

燈絲材質

Ir/Y2O3

工作溫度

40℃

最大分析溫度

120℃

250℃

最大烘烤溫度(移除電子)

250℃

300℃

連接法蘭

DN40CF

輸入電源

DC24V ±10% 50W

重量

2.6

2.84

2.6

2.84

3.21

3.21

防護等級

IP30

串口通信

RS232C/RS485

分辨率

M/DeltaM=1M(10%PH)

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