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潘寧真空計

INFICON 潘寧真空計 PEG100 可以提供可靠的高真空測量。堅固耐用的潘寧冷陰極傳感器不會出現絲極燒毀的現象。由于采用鈦陰極板且等離子點火后高電壓將會降低,潘寧真空計還可在濺射應用環境下運行。現場總線選件以及對數模擬輸出信號允許使用 Profibus DP 或 DeviceNet 協議,將真空計輕松集成到真空系統中。

特點

測量范圍可達 1 X 10-9 - 1 X 10-2 mbar (7.5 X 10-10 - 7.5 X 10-3Torr)

全金屬冷陰極傳感器(潘寧)帶有陶瓷饋入裝置

新創的電極幾何形狀提供卓越的點火屬性

等離子點火后高壓降低以及采用鈦陰極板,降低了污染風險,即使是使用氬氣進行濺射操作期間

陽極環和鈦陰極可以輕松進行清潔或更換

最小化真空計附近的磁場強度

LED 指示器用于顯示電源及等離子點火狀態

對數模擬輸出信號

現場總線接口(Profibus DB、DeviceNet)允許使用網絡通信將真空計輕松集成到真空系統中

應用

高真空壓力監控

蒸發鍍濺系統

高真空范圍內的一般真空測量和控制

技術規格

型號
PEG100
測量范圍
1 × 10E-9至10E-2 mabr
精度(N2)

≈±30%讀數
重復性
≈±5%讀數
輸出信號

0 至 +10.6VDC
電源電壓
功率
+14.5至+36Vdc
≤2 W
電氣連接件
FCC 8腳
工作溫度
+10至+50℃
安裝方位任何
防護等級IP40

*總線通訊技術規格請咨詢客服

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