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    光學薄膜真空鍍膜機

    非標定制設備

    光學薄膜真空鍍膜機是采用電子束蒸發鍍膜方式,可蒸發各類金屬膜和氧化物,可配離子源輔助沉積,應用于眼鏡、光學鏡頭、精密光學元件、激光等各類行業,可在玻璃,塑料,陶瓷基體上鍍制各種多層薄,如:紅外膜、寬帶增透膜、分光膜、冷光膜、IR-CUT膜、干截止濾光片、偏振膜、電學膜等。

    特點

    采用E型電子槍輸出功率穩定,國產優質或進口。

    轉動部件采用磁流體引入,長期運轉密封可靠。

    工件轉動座運轉平穩可靠,可配行星工件架。

    采用PLC+觸摸屏控制, 互鎖保護,可全程自動控制,包括真空系統,烘烤系統,整個蒸發鍍膜過程。

    所有零部件均采用國內知名廠家或進口知名品牌,。

    應用

    鍍制光學膜電學膜、金屬膜、激光膜、冷光膜、分光膜、增透膜

    在各種濾光片、玻璃片及塑膠(樹脂)件上鍍制增透膜、帶通膜和截止膜等各種膜系的鍍膜

    主要指標

    真空腔室尺寸

    Φ600~Φ1300

    真空系統

    擴散泵(冷阱)+羅茨泵+機械泵

    機械泵+羅茨泵+分子泵

    機械泵+羅茨泵+低溫泵

    極限真空

    優于1.0×10-4Pa

    真空恢復時間

    大氣至4×10-3Pa15min

    電子槍E型電子槍,功率10KW;可配置單槍或雙槍,多穴坩堝和環形坩堝。
    電阻蒸發可選配,1~3組蒸發源

    工件夾具

    Φ550mm~Φ1100mm

    工件烘烤溫度

    室溫~350℃,PID控溫

    膜厚監控系統

    光學膜厚監控、Inficon SQC310或 IC6

    離子源

    可選配Φ12CM ~ Φ16CM的離子源

    工藝氣體控制1~3只進口MFC控制

    系統

    PLC控制/工控機全自動控制(可選)

    典型應用


    各類光學鏡片鍍膜

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