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Hicube泵組

Hicube 系列移動式真空泵組在業界設立了新的標準:最新系列的HiPace渦輪分子泵和根據客戶應用需求可選的前級泵系列完美結合。  Hicube 真空泵組系列主要分為Hicube ECO(經濟型)、Hicube Classic、Hicube Pro三種真空泵組。真空泵組可選擇干泵或旋片泵作為前級泵,極限真空度可達 5 * 10-10mbar。針對特別有限的空間要求,Hicube 真空泵組中還特別提供尺寸非常緊湊的 HicubeEco經濟型泵組,其抽速范圍從 35 l/s 至 67 l/s。

根據HiPace 渦輪分子泵選擇的不同,HiCube真空泵組還可以分為HiCube 80真空泵組系列、HiCube 300真空泵組系列、HiCube 400真空泵組系列、HiCube 700真空泵組系列。

特點

渦輪分子泵和前級泵的完美結合;適合多種應用需求;

模塊化設計原則輕松滿足客戶多種應用需求;各部件配合簡便,易于保養維修;

集成的驅動系統,無需額外的控制系統;“即插即用”-無需布線和安裝;

意外斷電時,前級真空安全閥(可選.)可保護真空腔體免受返流影響;

可以直接連接真空計

應用

研發

加速器

分析和表面物理學

真空工藝技術

一般真空應用

技術規格

參數

型號

連接法蘭

抽速L/S

極限真空mbar

前級泵抽速m3/h

入口

N2

Hicube 80 Eco

KF40

35

10-7

15L/min

Hicube 80 Eco

ISO-K 63

67

10-7

15/min

Hicube 80 Eco

CF63

67

10-7

15L/min

Hicube Classic

法蘭連接

抽速L/S

極限真空mbar

前級泵抽速m3/h

入口

N2

MVP040

MVP070

DUO 3

DUO5M

MVP040

MVP070

DUO 3

DUO5M

Hicube 80 Classic

KF40

35

10-7

2.3

3.8

2.9

5

Hicube 80 Classic

ISO-K 63

67

10-8

10-8

5*10-10

5*10-10

2.3

3.8

2.9

5

Hicube 80 Classic

CF63

67

10-7

2.3

3.8

2.9

5

Hicube 300 Classic

ISO-K100

260

10-7

2.3

3.8

2.9

5

Hicube 300 Classic

CF100

260

10-8

10-8

5*10-10

5*10-10

2.3

3.8

2.9

5

Hicube 400 Classic

ISO-K100

355

10-7

2.3

3.8

2.9

5

Hicube 400 Classic

CF100

355

10-8

10-8

5*10-10

5*10-10

2.3

3.8

2.9

5

Hicube 700 Classic

ISO-K160

685

10-7

2.3

3.8

2.9

5

Hicube 700 Classic

CF160

685

10-8

10-8

5*10-10

5*10-10

2.3

3.8

2.9

5

Hicube Pro

法蘭連接

抽速L/S

極限真空mbar

前級泵抽速m3/h

入口

N2

ACP

Duo

Pascal

ACP

Duo

Pascal

Hicube 80 Pro

KF40

35

10-7

14/27

9/20

9/18

Hicube 80 Pro

ISO-K 63

67

10-7

14/27

9/20

9/18

Hicube 80 Pro

CF63

67

5*10-10

14/27

9/20

9/18

Hicube 300 Pro

ISO-K100

260

10-7

14/27

9/20

9/18

Hicube 300 Pro

CF100

260

5*10-10

14/27

9/20

9/18

Hicube 400 Pro

ISO-K100

355

10-7

14/27

9/20

9/18

Hicube 400 Pro

CF100

355

5*10-10

14/27

9/20

9/18

Hicube 700 Pro

ISO-K160

685

10-7

14/27

9/20

9/18

Hicube 700 Pro

CF160

685

5*10-10

14/27

9/20

9/18

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