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    壓力控制系統

    APC200與GPC3000壓流控制器基本上是為電容壓力計提供一個電源(±15VDC),與之相應的壓力信號連接顯示器,同時使用PID排氣節流閥節流閥或Self-Tuning功能將壓力控制連接起來的系統,其中,使用“Self-Tuning”功能,可根據流入室中氣體的量、泵抽速度、閥位中的真空壓力變化,以及其他重要的參數感知壓力控制系數。使用此功能作壓力控制時,可以更快地達到所需的壓力。內置2個過程限制繼電器,可幫助用戶集成在裝備中。

    特點

    至多可以連接4個MFC的PCB卡,每張PCB由2通道(2個MFC)組成。

    標準的面板安裝,通訊方式I/O或RS-232遠程(RS-485選項),實現所有遠程控制都是可能的。

    技術規格

    閥門操作

    ATV1000排氣節流閥,MKS型653和253排氣節流閥及其他

    壓力輸入信號

    標準0-10Vdc

    輸入功率要求

    90-132或180-264 VAC, 50/60 Hz

    設置點

    可編程的

    外部模擬

    總共5個,可在任何組合中編程,用于壓力或閥位置

    (可從前面板調節或從前面板旋轉RS232設定、TTL或RS232)

    0-10VDC

    控制器重復性

    ±0.1% F.S

    環境運行溫度

    15℃ - 45℃

    輸出功率

    ±15 VDC ±5% @ 1.5 Amp

    模擬量輸出信號

    0 - 10vdc用于0-100%閥門位置,0 - 10vdc用于1-100%滿量程壓力

    尺寸

    1/2機架安裝:88mm 寬 x 241mm 長 x 225 高

    顯示

    LCD(壓力、位置和外部設定點讀數)

    顯示單位

    Torr, mTorr, mbar, Pascal, cmH20, inH20, mbar, kpa 標準

    PID控制

    標準

    遠程零點

    標準

    接口

    前面板設置,模擬,TTL和RS232,(RS-485選項)

    繼電器輸出

    2個過程繼電器: 24 Volts AC/DC 0.5Amp 電阻

    遠程控制

    (打開、關閉、保持)

    標準

    位置控制能力

    標準

    ATV1000排氣節流閥

    ATV1000是用來調節真空腔體壓力的,可以控制大范圍的壓力。ATV1000是設計與GPC3000兼容使用的。

    ATV1000-B在閥內安裝了調節電導的板,和百葉窗形態一樣,與其他閥不同的排期節流閥,即使板是90度開啟,也不干涉腔體其他的部件,板可以自由動作。為了空間的一些適配管道與法蘭,都沒有必要安裝,整體上節省了真空裝備的體積和價格,并開發了大型尺寸的閥門。

    特點

    使用高速電機、大大縮短了位置點抵達的時間,提高設備的吞吐量而設計的。

    ATV1000可以與GPC3000控制器連接使用,其他公司產品的控制器也可以連接使用(如MKS)

    “節流閥”將擋板的位置在用戶外部也可以確認,即便閥的動作是否在裝備中脫離,可以確認。

    “節流閥”法蘭通常使用ISO-NW,但根據顧客的要求,也可以提供CF,ASA,JIS等法蘭。

    ATV1000-B優勢

                                            ATV1000-B閥門式樣


    技術規格

    閥門速度(開閉)

    1.5sec

    分辨率

    1/24000

    驅動方式

    PID單獨傳動

    閥體最高工作溫度

    標準:0-100℃

    可選:0-150℃

    閥工作環境溫度

    -20℃至40℃

    閥的壓差

    1atm(15psi)-最大

    泄漏率

    1x10-8sec/sec He

    暴露在工藝中的材料

    標準:304,Viton(密封材料可選)

    可選:316,Viton(密封材料可選,具體聯系工程師)

    兼容的控制器

    GPC3000,MKS 651 or 1651

    控制器輸出轉矩

    800 in-oz

    關閉-泄漏率

    (帶有O型圈的閥門)

    <10-7(Torr l/s)>

    ACM200電容薄膜真空計

    ACM200 電容薄膜壓力計,通常安裝在真空腔體或管道上,讀取實時壓力,±15VDC的電源和0 - 10VDC信號輸出的,廣泛用于半導體工程和真空工業設備。

    特點

    直接測量方式測量壓力

    無關氣體組分影響

    可應用于腐蝕性氣體環境,適合于各類制程應用

    可搭配Atovac儀表,實時顯示

    測量范圍從10E-4Torr至1000TOrr,覆蓋大多數制程壓力范圍

    技術規格

    壓力范圍(滿量程)

    1、2、10、100、1000

    最低壓力

    0.01%滿量程

    精度

    ±0.25%讀數

    可選:±0.15%讀數

    溫度效應

    零點

    跨度


    0.002% 滿量程/°C

    0.02% 讀數/°C

    工作環境溫度

    0℃至50℃

    暴露于氣體中的材料

    鉻鎳鐵合金

    泄漏率

    1x10-8sec/sec He

    最大壓力

    310Kpa

    電源要求

    ±15VDC (±5%) @ 35 mA

    輸出信號

    0 to +10VDC into ≥ 10K Ω load

    法蘭

    8 VCR, NW16KF

    質量流量控制器

    MFC是“質量流量控制器”的縮寫,氣瓶上出來的氣體,用戶有時所需的是一定流量的值。雖然每個制造廠商都有一些差距,但一般都采用SCCM(標準立方厘米/分鐘)。

    特點

    設計用于半導體制程和工業使用

    滿量程流量從5sccm至200slm

    1%滿量程的精度

    可搭配GMC1200儀表顯示,也可用于APC200、GPC3000等儀表組成壓力控制系統

    技術規格

    流量范圍(滿量程)

    AFC500/AFC600:5sccm至50slm

    AFC770:51至200slm

    最大進氣壓力

    150psig

    正常工作壓差(與在大氣壓,MFC出口)

    10至5000sccm

    10000至20000sccm

    AFC770


    10至40 psid

    15至40psid

    40至70psid

    精度(模擬量)

    (包括760Torr和0℃下的非線性、滯后和非重復性)

    ±1%滿量程

    重復性

    ±0.2%滿量程

    分辨率

    1%滿量程

    溫度系數

    零點

    跨度

    <0.05 % 滿量程./°C

    <0.05 % 滿量程.

    預熱時間(達到穩態性能的0.2%以內)

    <2分鐘

    控制器調節時間

    <2sec

    壓力系數

    <0.02 % of Rdg./psi

    工作溫度范圍

    0-50℃

    電源

    ±15 VDC (±5%)

    設定值命令信號

    0-5Vdc

    輸出信號

    0-5Vdc

    法蘭

    VCR, LOK

    接口

    9針D-sub

    材料

    316L,密封Viton(AFC600:Kalrez)

    外部泄漏完整性(scc/sec He)

    通過關閉閥門

    < 1×10(-9)

    <1.0%的F.S.,在40 psig的大氣入口(為確保無流量通過,建議使用單獨的正壓切斷閥。)

    壓強控制系統示意圖


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