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390 Micro-Ion ATM

Granville-Phillips 390 Micro-lon ATM模塊復合了經標定的Micro-lon電離規技術和微型Conductron熱損失傳感技術和兩個壓阻薄膜傳感器于一體,從而提供了從高真空到大氣壓的精確、連續的壓力測量。

運用薄膜傳感器技術,該產品可以提供近大氣端的精確的絕壓測量并能提供大氣端真空腔室內精準的相對壓力指示。獨有的傳感器設計消除了在高壓力下影響熱損失傳感器特性的熱效應。這種小型模塊復合了全部四種傳感器及控制電子器件于一個緊湊的一體化設計中,減少了腔室真空規管的需求數量并最小化所占空間。全量程壓力測量可以通過單一模擬量信號或可選的串行RS485或DeviceNet數字協議輸出。RS485和DeviceNet版本產品可以最多選擇三個設定點繼電器用于工藝控制,可以在真空壓力測量范圍內設定任意壓力值或者指定相對壓力值。


特點

從高真空到大氣壓的連續壓力測量

大氣壓端的精密的相對壓力測量

不需要單獨的大氣壓力檢測開關

不需要三種不同的傳感器

雙電離規燈絲延長了設備的無故障運行時間

自動點亮和關閉電離規

可選遠程控制設定點輸出繼電器

現在可更換規管組件

模擬量、RS-485或DeviceNet輸出可供選擇

可選LCD文本顯示器

GP 390真空計的復合規管技術

以往,在寬量程范圍內要進行精確測量需要多個傳感器,多個真空系統接口,及相關電纜及電子器件。GP的Micro-lon ATM模塊合并多傳感器于一個微機控制設計中,減少了整體購置成本,同時提高真空測量性能。

GP將20多年成功的規管設計以及現場裝機經驗運用到了生產新的真空測量標準產品Micro-lon ATM模塊中。寬量程、高性能,及緊湊型設計的Micro-lon ATM是您進行高真空系統壓力測量的明智之選。

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