成都四洋科技有限公司官方網站

GMC1200流量/壓力控制器

GMC1200流量壓力控制器是給MFC(質量流量控制器)提供電源(±15VDC),流量顯示,穩定的電壓設置點(0 ~ 5VDC),使MFC能夠準確地成為控制的裝置。也可以用電容壓力計代替MFC對壓力進行顯示。(0 - 10 VDC壓力信號),如果你添加上游壓力控制板作為選擇選項,則可以另加壓力控制模式,在連接各通道的MFC中,任意選擇想要的通道,用氣體的量可以自動控制想要的壓力,同時壓力也可以顯示。

通過微處理器進行“控制”處理,而且還可以利用rs - 232接口進行“PC控制”操作。

特點

采用超高速微處理器。

使用(±電壓顯示)16位雙A / D控制

容易辨認的LCD顯示。

流量或壓力的單位,用戶可以直接設置。

2、4、6、8通道可選。

您可以通過連接電容壓力計測定壓力。

每個頻道的流量都可以控制。

總流量累計功能

使用MFC與電容壓力計,可選上游壓力控制

技術規格

尺寸
寬*長*高 241mm*88mm*200mm
電氣特性

輸入功率
195 ~ 265VAC @50/60 Hz 85VA (最大) - 默認
98 ~ 135VAC @50/60 Hz 85VA可選
熔斷器額定值
250 VAC @3 A
輸出功率
+/-15VDC  ±5% @2.7A
工作溫度
0 ~ 50°c
輸入信號
0 ~ 5VDC for MFC
0 ~ 10VDC for 電容式壓力計
輸出信號
0 ~ 5VDC for MFC 指令
顯示窗口
128*64 LCD顯示器
顯示單位
sccm, slm表示MFC, Torr表示CM
接口
RS - 232、TTL接口
質量流量控制器

MFC是“質量流量控制器”的縮寫,氣瓶上出來的氣體,用戶有時所需的是一定流量的值。雖然每個制造廠商都有一些差距,但一般都采用SCCM(標準立方厘米/分鐘)。

特點

設計用于半導體制程和工業使用

滿量程流量從5sccm至200slm

1%滿量程的精度

可搭配GMC1200儀表顯示,也可用于APC200、GPC3000等儀表組成壓力控制系統

技術規格

流量范圍(滿量程)

AFC500/AFC600:5sccm至50slm

AFC770:51至200slm

最大進氣壓力

150psig

正常工作壓差(與在大氣壓,MFC出口)

10至5000sccm

10000至20000sccm

AFC770


10至40 psid

15至40psid

40至70psid

精度(模擬量)

(包括760Torr和0℃下的非線性、滯后和非重復性)

±1%滿量程

重復性

±0.2%滿量程

分辨率

1%滿量程

溫度系數

零點

跨度

<0.05 % 滿量程./°C

<0.05 % 滿量程.

預熱時間(達到穩態性能的0.2%以內)

<2分鐘

控制器調節時間

<2sec

壓力系數

<0.02 % of Rdg./psi

工作溫度范圍

0-50℃

電源

±15 VDC (±5%)

設定值命令信號

0-5Vdc

輸出信號

0-5Vdc

法蘭

VCR, LOK

接口

9針D-sub

材料

316L,密封Viton(AFC600:Kalrez)

外部泄漏完整性(scc/sec He)

通過關閉閥門

< 1×10(-9)

<1.0%的F.S.,在40 psig的大氣入口(為確保無流量通過,建議使用單獨的正壓切斷閥。)

版權所有? 成都四洋科技有限公司官方網站    蜀ICP備14007155號    技術支持: 竹子建站
欧美亚洲亚洲日韩在线