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    GMC1200流量/壓力控制器

    GMC1200流量壓力控制器是給MFC(質量流量控制器)提供電源(±15VDC),流量顯示,穩定的電壓設置點(0 ~ 5VDC),使MFC能夠準確地成為控制的裝置。也可以用電容壓力計代替MFC對壓力進行顯示。(0 - 10 VDC壓力信號),如果你添加上游壓力控制板作為選擇選項,則可以另加壓力控制模式,在連接各通道的MFC中,任意選擇想要的通道,用氣體的量可以自動控制想要的壓力,同時壓力也可以顯示。

    通過微處理器進行“控制”處理,而且還可以利用rs - 232接口進行“PC控制”操作。

    特點

    采用超高速微處理器。

    使用(±電壓顯示)16位雙A / D控制

    容易辨認的LCD顯示。

    流量或壓力的單位,用戶可以直接設置。

    2、4、6、8通道可選。

    您可以通過連接電容壓力計測定壓力。

    每個頻道的流量都可以控制。

    總流量累計功能

    使用MFC與電容壓力計,可選上游壓力控制

    技術規格

    尺寸
    寬*長*高 241mm*88mm*200mm
    電氣特性

    輸入功率
    195 ~ 265VAC @50/60 Hz 85VA (最大) - 默認
    98 ~ 135VAC @50/60 Hz 85VA可選
    熔斷器額定值
    250 VAC @3 A
    輸出功率
    +/-15VDC  ±5% @2.7A
    工作溫度
    0 ~ 50°c
    輸入信號
    0 ~ 5VDC for MFC
    0 ~ 10VDC for 電容式壓力計
    輸出信號
    0 ~ 5VDC for MFC 指令
    顯示窗口
    128*64 LCD顯示器
    顯示單位
    sccm, slm表示MFC, Torr表示CM
    接口
    RS - 232、TTL接口
    質量流量控制器

    MFC是“質量流量控制器”的縮寫,氣瓶上出來的氣體,用戶有時所需的是一定流量的值。雖然每個制造廠商都有一些差距,但一般都采用SCCM(標準立方厘米/分鐘)。

    特點

    設計用于半導體制程和工業使用

    滿量程流量從5sccm至200slm

    1%滿量程的精度

    可搭配GMC1200儀表顯示,也可用于APC200、GPC3000等儀表組成壓力控制系統

    技術規格

    流量范圍(滿量程)

    AFC500/AFC600:5sccm至50slm

    AFC770:51至200slm

    最大進氣壓力

    150psig

    正常工作壓差(與在大氣壓,MFC出口)

    10至5000sccm

    10000至20000sccm

    AFC770


    10至40 psid

    15至40psid

    40至70psid

    精度(模擬量)

    (包括760Torr和0℃下的非線性、滯后和非重復性)

    ±1%滿量程

    重復性

    ±0.2%滿量程

    分辨率

    1%滿量程

    溫度系數

    零點

    跨度

    <0.05 % 滿量程./°C

    <0.05 % 滿量程.

    預熱時間(達到穩態性能的0.2%以內)

    <2分鐘

    控制器調節時間

    <2sec

    壓力系數

    <0.02 % of Rdg./psi

    工作溫度范圍

    0-50℃

    電源

    ±15 VDC (±5%)

    設定值命令信號

    0-5Vdc

    輸出信號

    0-5Vdc

    法蘭

    VCR, LOK

    接口

    9針D-sub

    材料

    316L,密封Viton(AFC600:Kalrez)

    外部泄漏完整性(scc/sec He)

    通過關閉閥門

    < 1×10(-9)

    <1.0%的F.S.,在40 psig的大氣入口(為確保無流量通過,建議使用單獨的正壓切斷閥。)

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