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E-BEAM蒸發真空鍍膜機

非標定制設備

電子束蒸發真空鍍膜機是采用電子槍蒸發鍍膜方式,配國產或進口電子槍1臺,可選配1~3組電阻蒸發源,選配離子源用于清洗及輔助鍍膜能力。結構設計合理,性能穩定可靠,操控簡單方便。廣泛應用于科研院所、實驗室制備金屬、化合物(氧化物)、導電薄膜、光學薄膜等。

特點

采用E型電子槍輸出功率穩定,國產優質或進口。

轉動部件采用磁流體引入,長期運轉密封可靠。

工件轉動座運轉平穩可靠,可配行星工件架。

采用PLC+觸摸屏控制, 互鎖保護,可全程自動控制,包括真空系統,烘烤系統,整個蒸發鍍膜過程。

所有零部件均采用國內知名廠家或進口知名品牌,。

應用

科研與教學

主要指標

樣片數量及基臺尺寸: 工件架(根據用戶需求定制)

工藝材料:金屬;非金屬;化合物等薄膜材料。

工藝腔體:304不銹鋼,鏡面拋光

真空系統:各種高,超高真空系統組合。

工件架:可旋轉,轉速可調

加熱:PID控溫加熱,0~350℃

電子槍:E型,帶XY偏轉掃描

電子槍坩堝:6穴至8穴,10~17cc

膜厚監控功能:石英晶控膜厚在線監測

清洗功能:可選配離子源清洗

檢測與控制光學特性功能:可選配光控儀

操作模式:全自動+半自動控制

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