ELD500氦質譜檢漏儀
ELD500氦質譜檢漏儀
Edwards新型ELD500全自動氦質譜檢漏儀已經上市。是為在廣泛的應用中快速、準確地檢測泄漏而設計的，并且是完全可移動的；易于使用的控制界面。EdwardsELD500是您在泄漏檢測方面的明智選擇。
特點
性價比高
移動解決方案
可定制的任何應用程序
高穩定性和準確性
應用
分析儀器：電子顯微鏡、泄漏檢測、質譜、表面分析
半導體：負載鎖定、過程、計量、光刻技術、PVD、等離子體刻蝕、CVD、平板顯示器、LED
研究和開發：空間模擬、低溫研究、納米技術、涂層系統
工業：工業泄漏檢測、電子束焊接、燈管制造、玻璃涂料、剎車線和空調、制冷系統制造商、熱處理、電源、真空爐
高能物理：束線、加速器、融合、激光疏散
技術規格
| 類型 | WET | DRY | FLEX |
可檢測的氦泄漏率mbar.L/s | |||
| 真空操作 | ≤ 5 x 10-12 | ≤ 3 x 10-11 | ≤ 5 x 10-12（配泵） |
| 吸槍操作 | ≤ 7x10-9 | ||
| 最大可測氦泄漏率 mbar.L/s （真空操作） | ＞0.1 | ||
| 檢測范圍 | 12個數量級 | ||
| 最大允許進口壓力 | 15mbar | ||
| 泵送速度50hz / 60hz | 2.5/3 m3/h | 1.6/1.8 m3/h | N/A |
| 在精細模式下的氦抽運速度 | 3.1L/s | ||
| 泄漏率信號的時間常數 | ＜1s | ||
| 啟動時間 | ≤2min | ||
| 功率 | 420VA | 350VA | 200VA |
| 入口法蘭 | NW25 | ||
| 尺寸mm | 495x456x314 | ||
| 重量 | 40Kg | 35.5Kg | 30Kg |