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    低壓式大流量質量流量控制器

    CAF-150質量流量控制器,體積緊湊,可以低壓下控制大流量,產品同時支持傳統模擬量和RS485數字信號,滿足大部分氣體控制的通用需求。

    特點

    體積緊湊,便于安裝

    可以低壓下控制大流量,流量范圍從100L/min到3000L/min

    直洞式設計,響應速度更快

    自帶過濾器適用于潔凈制程

    比例活塞閥及薄膜閥,耐久性強

    技術規格

    型號CAF-145CAF-150CAF-155
    流量范圍(N2基準)100slm~500slm500slm~2000slm2000slm~3000slm
    流量控制范圍
    2 ~ 100%滿量程
    精度≤±2%滿量程≤±2.5%滿量程
    響應速度≤1.2秒≤1.8秒
    重復性
    ≤0.2%滿量程
    閥門類型常閉閥
    密封種類Vtion,Vtion-ETP,Kalrez等等
    電氣連接及信號9針D-Sub公頭
    模擬:0-5VDC或4-20mA
    數字:RS485
    電源+15VDC~+24VDC
    操作溫度操作溫度:5-50℃(推薦15~35℃)
    預熱時間15分鐘(準確度保證:30分鐘)
    法蘭連接1/8"~1/2"LOK或VCR(根據型號)
    重量7Kg10Kg14Kg

    產品尺寸


    質量流量控制器訂購參數確認單


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