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Barocel 7025真空計

Edwards Barocel 7000系列是目前最精確的真空壓力表產品,根據客戶的需要,我們提供了更精確的測量和控制系統。有了環境和加熱產品,可以提供優秀的性能和可靠性。

Barocel 7000系列主要有這幾款型號:7025M、7025和7045、7100。可在1000至0.1 mbar/Torr(7025M型僅支持1000至10Torr量程)的全壓力范圍內使用,并有多個法蘭選項。這使壓力測量和控制超過7個數量級,滿足您系統精密測量和控制的要求。

Barocel 7025M

對于需要精確測量卻預算有限的情況,7025M是最合適的量規。基于與高端Barocel 7000壓力表相同的原理,它具有陶瓷傳感技術和出色的零穩定性。是體積更小、更經濟的解決方案。

Barocel 7025M

可重復的高性能,這是在廣泛的應用范圍內標準的儀表。7025具有很高的精確度,有多層內部保護; 擋板、涂層和防護裝置等標準配置,具有良好的零點穩定性,以及任意方向安裝。

Barocel 7045/7100

使用與7025相同的測量單元,Barocel 7045、7100儀表集成了加熱器來保持儀表的固定溫度。應用于有嚴重氣體凝結可能導致問題的應用。可以加熱到45℃(7045)或100℃(7100)的穩定溫度時,儀表中的冷凝物不會危害到控制系統。

TIC儀表控制器(D39702000)提供全面的控制和顯示多達6個兼容的Edwards真空計。下面是使用單個控制器運行的各種配置

6個Edwards Active真空計

3個BAROCEL 7025M或7025和任意3個其他Edwards Active真空計

1個BAROCEL 7045或7100,2個BAROCEL 7025或7025M,以及任意3個其他Edwards Active真空計

特點

性能優越,優良的零穩定性和準確性

集成的雙設定值增強控制

緊湊型到加熱型,應有盡有

低擁有成本

零維護

應用

半導體:負載鎖定,PVD, CVD,蝕刻

高能物理:光束線、加速器、激光疏散、醫療系統

分析:質譜儀和電子顯微鏡

標準:基準真空,壓力控制

工業:涂料系統、熔爐、滅菌、食品加工、氧化

技術規格

型號

7025M

7025

7045

7100

滿量程

1000/100/10

1000/100/10

1

0.1

1000/100/10/1

0.1

1000/100/10/1

0.1

精度(%讀數)

1

0.2

0.5

0.15

0.2

0.4

溫度效應

零點(% FS/℃)

0.02

0.005

0.015

0.02

0.0025

0.005

0.0025

0.005

滿量程(% 讀值/℃)

0.02

0.01

0.03

0.01

0.02

分辨率(%FS)

0.05

0.003

0.003

0.003

最低讀數(%FS)

0.05

容許的溫度

環境溫度(℃)

0至+70

+5至+50

+10至+40

+10至+50

烘烤溫度-法蘭處(℃)

<110

存儲溫度(℃)

-20至+85

-40至+65

-20至+65

爆破壓力(絕對)

6bar

5bar

6bar

6bar

電源要求

+13至30VDC

+14至+30VDC或者±15V

功耗

加熱時(W)

N/A

N/A

<12

<15

正常運行(W)

<0.3

<1

<8

<10

輸出信號

+0至10VDC

響應時間(ms)

100

30

30

30

防護等級

IP40

IP30

IP40

IP40

尺寸KF16(mm)

28.3x28.3x99

55x55x113

82x82x142

82x82x142

設定點繼電器

數量

N/A

2

觸點電壓VDC

N/A

30

接觸材質

氧化鋁陶瓷(AI2O3),不銹鋼1.4404 (AISI 316L)

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